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Ion-Beam-Based Nanofabrication: Volume 1020 by Daryush Ila (English) Hardcover B

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By Daryush Ila, John Baglin, Naoki Kishimoto, Paul K. Chu. Preface; Part I. Ion Beam Nanofab: Tools, Techniques, and Applications: 1. Recent advances in FIB technology for nano-prototyping and nano-characterization; 3.

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