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MKS RPS AX7696LAM-01 Remote Plasma Source Revolution V Oxygen Flow 10SLM NEU

73.053,83 €

Manufacturer : MKS. Up to 6 kW of plasma power with accurate power reproducibility. Short pulse capable in seconds. Integrated, self-contained unit designed for on-chamber installation. Item Specification.

Jetzt bei Ebay:

Brand:

MKS
Equipment/Component Type:

RPS
Unit Type:

Unit
MPN:

AX7696LAM-01
Country/Region of Manufacture:

Unknown
Unit Quantity:

1

Economy Shipping:

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