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Modellierung von Mikrofabrikationssystemen, Taschenbuch von Nassar, Raja; Dai, Weizhon...

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Modeling of Microfabrication Systems, Paperback by Nassar, Raja; Dai, Weizhong, ISBN 3642055362, ISBN-13 9783642055362, Like New Used, Free shipping in the US This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.

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