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Modelling of Microfabrication Systems by Raja Nassar (English) Paperback Book

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(Grégory Guisbiers, Physicalia, Vol. 26 (1), 2004). (Gr gory Guisbiers, Physicalia, Vol. Knowledge gained from such models is essential for system operation and optimization. This book is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology. ).

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